[发明专利]定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统及元件安装机

摘要

在分别通过二自由度控制系统来控制由多个驱动源(23、24)分别单独地加减速驱动的多个移动体(19、20)的定位控制装置(31)中，具备对于受到扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入和操作量进行该扰动的非干扰化补偿的扰动非干扰化补偿器(41、42)。各扰动非干扰化补偿器具备：二阶微分器，对产生扰动的一侧的移动体的位置指令值进行二阶微分而输出加速度指令值；第一乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第一增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入的校正量；及第二乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第二增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的操作量的校正量。

主权项

1.一种定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统，分别通过二自由度控制系统来控制移动体驱动系统中的各移动体的位置，所述移动体驱动系统在单一的机台或者相连接的多个机台上搭载由多个驱动源分别单独地加减速驱动的多个移动体，且将由某一个移动体的加减速驱动产生的扰动经由所述机台而向相邻的其他移动体传递，所述定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统的特征在于，所述二自由度控制系统具备：检测部，检测所述移动体的位置；反馈补偿器，将所述移动体的位置指令值与所述检测部的检测值的偏差作为输入，以该偏差变小的方式输出反馈操作量；前馈补偿器，将所述移动体的位置指令值作为输入而输出前馈操作量；加法器，将所述反馈操作量和所述前馈操作量相加而输出所述移动体的操作量；及扰动非干扰化补偿器，对于受到所述扰动的影响的一侧的移动体的反馈补偿器的输入和操作量进行该扰动的非干扰化补偿，所述扰动非干扰化补偿器具备：二阶微分器，对产生扰动的一侧的移动体的位置指令值进行二阶微分而输出加速度指令值；第一乘法器，对所述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第一增益而输出对于受到所述扰动的影响的一侧的移动体的反馈补偿器的输入的校正量；及第二乘法器，对所述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第二增益而输出对于受到所述扰动的影响的一侧的移动体的操作量的校正量，通过所述第一乘法器的输出和所述第二乘法器的输出，对受到所述扰动的影响的一侧的移动体的反馈补偿器的输入和操作量进行校正而进行该扰动的非干扰化补偿。