[发明专利]定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统及元件安装机

说明书

在分别通过二自由度控制系统来控制由多个驱动源(23、24)分别单独地加减速驱动的多个移动体(19、20)的定位控制装置(31)中，具备对于受到扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入和操作量进行该扰动的非干扰化补偿的扰动非干扰化补偿器(41、42)。各扰动非干扰化补偿器具备：二阶微分器，对产生扰动的一侧的移动体的位置指令值进行二阶微分而输出加速度指令值；第一乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第一增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入的校正量；及第二乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第二增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的操作量的校正量。

技术领域

本说明书公开与对移动体驱动系统中的各移动体的位置分别进行控制的定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统及元件安装机相关的技术，上述移动体驱动系统在单一的机台或者连接的多个机台上搭载由多个驱动源分别单独地加减速驱动的多个移动体，且由某一个移动体的加减速驱动产生的扰动经由上述机台而向相邻的其他移动体传递。

背景技术

作为在单一的机台或者连接的多个机台上搭载由多个驱动源分别单独地加减速驱动的多个移动体的移动体驱动系统，例如公知有专利文献1(日本特开2004-104075号公报)记载的模块型元件安装线。该模块型元件安装线构成为连接多台安装机模块并在各安装机模块搭载分别使2个安装头移动的2个移动体(Y滑动件)。在该结构中，不仅在加减速驱动了一方的安装机模块的一方的移动体时产生的扰动(振动)经由自身的安装机模块的机台向另一方的移动体传递而使该另一方的移动体的定位精度恶化，该扰动有时还经由相邻的其他安装机模块的机台向该其他安装机模块的移动体传递而使该其他安装机模块的移动体的定位精度恶化。

仅通过软件的变更或者追加解决这样的课题的扰动非干扰化补偿装置记载于专利文献2(日本专利第5382777号公报)。该专利文献2的扰动非干扰化补偿装置具备：观测(检测)移动体的位置的观测单元和对于受到扰动的影响的一侧的移动体的观测量进行该扰动的非干扰化补偿的扰动非干扰化补偿器，上述扰动非干扰化补偿器构成为具备：第一前馈补偿器，将产生扰动的一侧的移动体的操作量作为输入，输出用于进行对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的控制量的该扰动的非干扰化补偿的前馈补偿量；第二前馈补偿器，将上述产生扰动的一侧的移动体的操作量作为输入而输出目标指令校正量；第一运算器，利用上述第一前馈补偿器的输出来校正受到上述扰动的影响的一侧的移动体的操作量；及第二运算器，利用上述第二前馈补偿器的输出来校正受到上述扰动的影响的一侧的移动体的目标指令。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-104075号公报

专利文献2：日本专利第5382777号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述的专利文献2的扰动非干扰化补偿装置基于产生扰动的一侧的移动体的操作量进行扰动的非干扰化补偿，但产生扰动的一侧的移动体的操作量包含由通常的反馈控制产生的对于摩擦力等机械特性的反馈补偿量，因此存在用于使扰动非干扰化的补偿量容易受到产生扰动的一侧的移动体的机械特性的影响这样的问题。

而且，产生扰动的一侧的移动体的操作量除了包含对于上述的摩擦力等机械特性的反馈补偿量之外，还包含由反馈控制产生的控制延迟，因此存在即便从该操作量输出用于进行扰动的非干扰化补偿的前馈补偿量也无法获得所希望的补偿结果这样的问题。