[发明专利]防污膜在审
| 申请号： | 201780087978.8 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN110573649A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 何伟祥;何畊纬 | 申请（专利权）人： | 德扬科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 11314 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种用于延长机器使用寿命的防污膜，其包含一个基板和一个在板上沉积的靶材。基板的制作方法包括溅射、电解、蒸发和激光。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 使用寿命 防污膜 靶材 溅射 沉积 电解 蒸发 激光 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于薄膜沉积工艺(例如溅射工艺)的防污膜，所述防污膜包含/n在薄膜沉积工艺中捕集散射离子的一软片材；/n其中，所述软片材是可操作的以在所述薄膜沉积工艺中保持完整性。/n
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