[发明专利]在集成电路中实施电感器和图案接地屏蔽的电路和方法有效
| 申请号： | 201780086473.X | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110291629B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | P·厄帕德亚亚;J·荆 | 申请（专利权）人： | 赛灵思公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;李兴斌 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种集成电路设备。所述集成电路设备包括衬底(202)；多个金属布线互连层(710、712、716)；电感器(108)，所述电感器形成于所述多个金属布线互连层中的至少一个金属层中；以及底部金属层(702)，所述底部金属层在所述多个金属布线互连层与所述衬底之间；其中，图案接地屏蔽(302)形成于所述底部金属层中。还公开了一种在集成电路设备中实施电感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 实施 电感器 图案 接地 屏蔽 电路 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路设备，包括：衬底；多个金属布线互连层；电感器，形成于所述多个金属布线互连层中的至少一个金属层中；以及底部金属层，在所述多个金属布线互连层与所述衬底之间；其中，图案接地屏蔽形成于所述底部金属层中。
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