[发明专利]感光性转印材料以及电路配线的制造方法在审
| 申请号: | 201780085159.X | 申请日: | 2017-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN110312965A | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
| 发明(设计)人: | 藤本进二;佐藤守正;片山晃男;汉那慎一;筱田克己 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/039;H05K3/06 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹阳 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 感光性转印材料依次具有临时支撑体、中间层以及感光性树脂组合物层,上述感光性树脂组合物层含有聚合物以及光产酸剂,所述聚合物包含具有被酸分解性基保护的酸基的构成单元,上述中间层含有树脂C,所述树脂C为水溶性或碱溶性,且包含具有酚性羟基或未直接连接于主链的醇性羟基的构成单元。并且,提供一种使用了上述感光性转印材料的电路配线的制造方法。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性转印材料 感光性树脂组合物层 电路配线 构成单元 聚合物 中间层 树脂 临时支撑体 醇性羟基 酚性羟基 光产酸剂 酸分解性 碱溶性 酸基 主链 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性转印材料,依次具有:临时支撑体;中间层;以及感光性树脂组合物层,所述感光性树脂组合物层含有聚合物和光产酸剂,所述聚合物包含具有被酸分解性基保护的酸基的构成单元,所述中间层含有树脂C,所述树脂C为水溶性或碱溶性,且包含具有酚性羟基或未直接连接于主链的醇性羟基的构成单元。
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