[发明专利]感光性转印材料以及电路配线的制造方法在审
| 申请号: | 201780085159.X | 申请日: | 2017-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN110312965A | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
| 发明(设计)人: | 藤本进二;佐藤守正;片山晃男;汉那慎一;筱田克己 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/039;H05K3/06 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹阳 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性转印材料 感光性树脂组合物层 电路配线 构成单元 聚合物 中间层 树脂 临时支撑体 醇性羟基 酚性羟基 光产酸剂 酸分解性 碱溶性 酸基 主链 制造 | ||
感光性转印材料依次具有临时支撑体、中间层以及感光性树脂组合物层,上述感光性树脂组合物层含有聚合物以及光产酸剂,所述聚合物包含具有被酸分解性基保护的酸基的构成单元,上述中间层含有树脂C,所述树脂C为水溶性或碱溶性,且包含具有酚性羟基或未直接连接于主链的醇性羟基的构成单元。并且,提供一种使用了上述感光性转印材料的电路配线的制造方法。
技术领域
本发明涉及一种感光性转印材料以及电路配线的制造方法。
背景技术
在具备静电电容型输入装置等触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中,相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、边缘配线部分及引出配线部分的配线等导电性层图案设置于触摸面板内部。
通常形成图案化的层时,由于用于得到所需的图案形状的工序数量少,广泛使用了对使用感光性转印材料设置于任一基板上的感光性树脂组合物的层隔着具有所期望的图案的掩模进行曝光之后显影的方法。
例如,日本特开2015-118202号公报中公开有一种感光性转印材料,所述感光性转印材料的特征在于,其具有支撑体及感光性树脂组合物层,上述感光性树脂组合物层包含(A)包括包含具有被酸分解性基保护的酸基的构成单元(a1)的聚合物的聚合物成分及(B)光产酸剂,上述感光性树脂组合物不具有乙烯性交联结构。
发明内容
发明要解决的技术课题
本发明的一实施方式欲要解决的课题在于提供一种所得到的图案形状的变形少的感光性转印材料。
并且,本发明的另一实施方式欲要解决的课题在于提供一种使用了上述感光性转印材料的电路配线的制造方法。
用于解决技术课题的手段
用于解决上述课题的方案,包括以下方式。
<1>一种感光性转印材料,依次具有临时支撑体、中间层、感光性树脂组合物层,上述感光性树脂组合物层含有聚合物和光产酸剂,所述聚合物包含具有被酸分解性基保护的酸基的构成单元,上述中间层含有树脂C,所述树脂C为水溶性或碱溶性,且包含具有酚性羟基或未直接连接于主链的醇性羟基的构成单元。
<2>根据上述<1>所述的感光性转印材料,其中,
在上述临时支撑体和上述中间层之间进一步具有热塑性树脂层。
<3>根据上述<1>或<2>所述的感光性转印材料,其中,
上述树脂C是选自由线型酚醛树脂、改性纤维素树脂以及具有羟基的丙烯酸类树脂组成的组中的至少1种树脂。
<4>根据上述<1>~<3>中任一个所述的感光性转印材料,其中,
上述中间层进一步含有除上述树脂C以外的水溶性或碱溶性的树脂D。
<5>根据上述<4>所述的感光性转印材料,其中,
上述树脂D是选自由聚丙烯酸、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚环氧乙烷、聚乙烯亚胺、聚乙烯醇以及聚乙烯基吡咯烷酮组成的组中的至少1种树脂。
<6>根据上述<4>或<5>所述的感光性转印材料,其中,
上述树脂D是选自由聚乙烯醇以及聚乙烯基吡咯烷酮组成的组中的至少1种树脂。
<7>根据上述<4>~<6>中任一个所述的感光性转印材料,其中,
上述中间层中的上述树脂C和上述树脂D的含有质量比为树脂C:树脂D=5:1~1:2。
<8>根据上述<7>所述的感光性转印材料,其中,
上述中间层中的上述树脂C和上述树脂D的含有质量比为树脂C:树脂D=4:1~2:1。
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