[发明专利]成膜方法和卷绕式成膜装置有效
| 申请号： | 201780082442.7 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110168130B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 本间裕章;高桥明久;长谷川正树 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供成膜方法和卷绕式成膜装置。本发明的一个方式的成膜方法包含预处理，该预处理是对真空容器进行排气直至真空容器内的水分压变成目标值以下的处理。通过向配置在上述真空容器内的第一铬靶与第二铬靶之间施加交流电压而使等离子体产生。在与上述第一铬靶和上述第二铬靶相向配置的挠性基板的成膜面形成铬层。本发明能够抑制挠性基板的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 卷绕 式成膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种成膜方法，其中，实施对真空容器进行排气直至所述真空容器内的水分压变成目标值以下的预处理；通过向配置在所述真空容器内的第一铬靶与第二铬靶之间施加交流电压，由此使等离子体产生，并在与所述第一铬靶和所述第二铬靶相向地配置的挠性基板的成膜面形成铬层。
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