[发明专利]测量装置和观测条件的设定方法有效
| 申请号： | 201780082429.1 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN110168696B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 荒木亮子;津野夏规;中村洋平;笹岛正弘;中村光宏;扬村寿英 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;梁霄颖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 观测 条件 设定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出所述带电粒子束的粒子源；使所述带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了所述带电粒子束的所述试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对所述带电粒子束的输出和所述发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，所述控制装置设定用于控制所述带电粒子束的照射周期的第1参数作为所述观测条件，所述控制装置设定用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数作为所述观测条件，所述控制装置设定用于在所述脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制所述发射电子的信号的检测时刻的第3参数作为所述观测条件，所述第3参数是基于从所述带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。
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