[发明专利]氧化铈研磨粒在审
申请号: | 201780081137.6 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN110168040A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 衣田幸司;大井信 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304;B24B37/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王永红 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明在一个实施方式中提供一种可提升研磨速度的氧化铈研磨粒。本发明在一个实施方式中涉及一种氧化铈研磨粒,其用于研磨剂,并且氧化铈研磨粒表面的{100}面的露出量为30%以上。 | ||
搜索关键词: | 研磨粒 氧化铈 研磨 露出量 研磨剂 | ||
【主权项】:
1.一种氧化铈研磨粒,其用于研磨剂,氧化铈研磨粒表面的{100}面的露出量为30%以上。
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