[发明专利]检查方法及检查装置

摘要

对具有绕对称轴旋转对称的外周部的工件高精度地进行检查，并且缩短该检查的周期时间。各工件的检查中，基于执行第1工序(在预对准位置将工件保持于保持台，并使工件绕旋转轴旋转的同时对工件进行拍摄)所取得的图像，进行保持台处的工件的位置校正，以消除工件的对称轴相对于旋转轴的偏心，然后，在基于执行第5工序(在检查位置使该工件绕旋转轴旋转的同时对其进行拍摄)所取得的图像而进行工件的检查的工件检查中，使对连续的两个工件中的前一个工件执行的第5工序和对连续的两个工件中的后一个工件执行的第1工序并行地执行。

主权项

1.一种检查方法，对具有绕对称轴旋转对称的外周部的多个工件逐一连续地进行检查，其特征在于，执行如下工序来进行各工件的检查：在预对准位置将工件保持于保持台，在使所述工件绕旋转轴旋转的同时对所述工件进行拍摄的第1工序；在所述第1工序之后，使保持着所述工件的所述保持台向与所述预对准位置不同的检查位置移动的第2工序；基于在所述第1工序中拍摄到的所述工件的图像而检测所述工件的对称轴相对于所述旋转轴的偏心的第3工序；进行所述保持台处的所述工件的位置校正，以消除在所述第3工序中检测到的所述偏心的第4工序；在所述检查位置使接受了所述位置校正后的工件绕所述旋转轴旋转的同时对接受了所述位置校正后的工件进行拍摄的第5工序；和基于在所述第5工序中拍摄到的图像进行所述工件的检查的第6工序，使对连续的两个工件中的前一个工件执行的所述第5工序和对连续的两个工件中的后一个工件执行的所述第1工序并行地执行。