[发明专利]包含金属氧化物纳米粒子和有机聚合物的旋转涂布材料组合物

摘要

本发明涉及一种涂料组合物，它包括溶剂，在这种有机溶剂中分散的金属氧化物纳米粒子，在这种溶剂中溶解的高碳聚合物，其中所述高碳聚合物包括结构(1)的重复单元，结构(2)的羟基联苯基重复单元和结构(3)的含稠合芳族部分的部分，其中R1和R2独立地选自氢，烷基和取代烷基，Ar是未取代或取代的稠合芳环，和X1是亚烷基间隔基，或直接价键。本发明还涉及一种方法，其中或者通过翻转色调硬掩模图案转移方法或者使用光致抗蚀剂的常规掩模图案方法，在平版印刷应用中使用该组合物作为构图的硬掩模，以构图硬掩模并用等离子体构图半导体基底。本发明还进一步包括一种方法，其中包含在溶剂中分散的金属氧化物和金属氧化物纳米粒子的组合物用于涂布金属硬掩模，所述金属硬掩模在标准硬掩模图案转移方法中用于构图半导体基底。

主权项

1.一种涂料组合物，包含有机溶剂、在这种有机溶剂中分散的金属氧化物纳米粒子、在这种溶剂中溶解的高碳聚合物，其中所述高碳聚合物包括结构(1)的重复单元、结构(2)的羟基联苯基重复单元和结构(3)的含稠合芳族部分的部分，其中R₁和R₂独立地选自氢、烷基和取代烷基，Ar是未取代或取代的稠合芳环，和X₁是亚烷基间隔基，或直接价键