[发明专利]包含金属氧化物纳米粒子和有机聚合物的旋转涂布材料组合物

权利要求书

1.一种涂料组合物，包含有机溶剂、在这种有机溶剂中分散的金属氧化物纳米粒子、在这种溶剂中溶解的高碳聚合物，其中所述高碳聚合物包括结构(1)的重复单元、结构(2)的羟基联苯基重复单元和结构(3)的含稠合芳族部分的部分，其中R₁和R₂独立地选自氢、烷基和取代烷基，Ar是未取代或取代的稠合芳环，和X₁是亚烷基间隔基，或直接价键

2.权利要求1的涂料组合物，其中所述高碳聚合物包括用结构(4)表示的单元，其中A具有结构(3)，B具有结构(1)和C具有结构(2)

3.权利要求1的涂料组合物，其中在结构(3)中X₁是亚烷基间隔基。

4.权利要求1的涂料组合物，其中在结构(3)中X₁是直接价键。

5.权利要求1的涂料组合物，其中所述稠合芳族部分具有结构(3a)

[-Ar-CH₂-] (3a)。

6.权利要求1的组合物，其中所述含稠合芳族的部分具有结构(3b)

7.权利要求1的组合物，其中所述含稠合芳族的部分，Ar，是稠合芳环且X₁是直接价键。

8.权利要求1的组合物，其中所述含稠合芳族的部分，Ar，具有2至5个芳环且X₁是直接价键。

9.权利要求1的组合物，其中所述高碳聚合物进一步包括结构(5)的单元，其中Ar′是具有2至5个芳环的稠合芳环

10.权利要求1的组合物，其中所述高碳聚合物结构(1)具有结构(1a)

11.权利要求1的组合物，其中所述高碳聚合物结构(2)具有结构(2a)

12.权利要求1的组合物，其中所述金属氧化物纳米粒子选自氧化锆纳米粒子、氧化铪纳米粒子、氧化铝纳米粒子、氧化 钨纳米粒子、氧化钛纳米粒子、氧化铜纳米粒子、氧化亚铜纳米粒子、氧化锡纳米粒子、氧化铈纳米粒子、氧化锡铟纳米粒子、氧化锌纳米粒子、氧化钇纳米粒子、氧化镧纳米粒子和氧化铟纳米粒子。

13.权利要求1的组合物，其中所述组合物包含5wt％至20wt％的金属氧化物纳米粒子。

14.权利要求1的组合物，其中所述组合物包含1wt％至20wt％的高碳聚合物。

15.权利要求1的组合物，其中所述金属氧化物纳米粒子对高碳聚合物的重量比范围为50:50至99:1。

16.在基底上涂布硬掩模组合物的方法，该方法包括步骤a)至b)：

a)施加权利要求1的组合物到基底上以形成硬掩模膜；和

b)烘烤该硬掩模膜。

17.权利要求16的方法，其中所述基底是含形貌特征的构图基底，和硬掩模组合物的涂层覆盖所述形貌，和进一步其中在步骤b)中在烘烤该膜之后，该方法进一步包括步骤c)：

c)采用化学剥离剂或利用氟化等离子体蚀刻，去除覆盖构图基底顶部的硬掩模膜。