[发明专利]量测传感器、光刻设备和用于制造器件的方法

摘要

披露了一种量测传感器系统，诸如一种位置传感器。所述系统包括：光学收集系统，所述光学收集系统配置成收集来自衬底上的量测标记的衍射或散射辐射，所收集的辐射包括至少一个参数敏感信号和非参数敏感的噪声信号；处理系统，所述处理系统能够操作以处理所收集的辐射；以及模块壳体。光导被提供用于将与所述噪声信号分离的至少一个参数敏感信号从所述处理系统引导到所述壳体外部的检测系统。检测器检测所分离的至少一个参数敏感信号。用于阻挡第零阶辐射的遮蔽件和/或缩小光学系统可以设置于所述光导与所述检测器之间。

主权项

1.一种量测传感器系统，包括：光学收集系统，所述光学收集系统配置成收集来自衬底上的量测标记的衍射辐射或散射辐射，被收集的辐射包括至少一个参数敏感信号和至少一个噪声信号；处理系统，所述处理系统能够操作以处理所述被收集的辐射；模块壳体，所述模块壳体容纳所述处理系统；至少一个光导，所述至少一个光导用于将与所述至少一个噪声信号分离的所述至少一个参数敏感信号从所述处理系统引导到所述壳体外部的检测系统；以及至少一个检测器，所述至少一个检测器能够操作以检测分离的所述至少一个参数敏感信号。