[发明专利]固体摄像元件

摘要

固体摄像元件包括像素，在像素上设有受光部(100)、电荷维持部(101)、栅极(202)、形成在受光部与电荷维持部之间的区域上的第一沟槽(200)、设在第一沟槽内的第一绝缘膜(160)、转移部(201)、覆盖电荷维持部、转移部以及栅极的上表面的阻光膜(204)。俯视时，在从受光部朝向电荷维持部的方向上的从阻光膜的端部经由转移部到达电荷维持部为止的距离比从阻光膜的端部经由第一沟槽到达电荷维持部为止的距离长。

主权项

1.一种固体摄像元件，其包括布置有多个像素的摄像区域，所述固体摄像元件的特征在于：在各所述像素上，设有受光部、电荷维持部、栅极、第一沟槽、第一绝缘膜、第二沟槽、第二绝缘膜、转移部以及阻光膜，所述受光部设在半导体衬底上，且通过光电转换而生成电荷，所述电荷维持部设在所述半导体衬底上，且积蓄所述受光部所生成的电荷，所述栅极设在所述电荷维持部上，且向所述电荷维持部转移所述受光部所生成的电荷，所述第一沟槽形成在所述半导体衬底中所述受光部与所述电荷维持部之间的区域，所述第一绝缘膜设在所述第一沟槽内，所述第二沟槽形成在所述半导体衬底中互相相邻的像素的受光部之间的区域，所述第二绝缘膜设在所述第二沟槽内，所述转移部设在所述受光部与所述电荷维持部的交界的端部且与所述第一绝缘膜接触，所述转移部成为从所述受光部向所述电荷维持部转移电荷的转移路径，所述阻光膜覆盖所述电荷维持部、所述转移部以及所述栅极的上表面，俯视时，在从所述受光部朝向所述电荷维持部的方向上的从所述阻光膜的端部经由所述转移部到达所述电荷维持部为止的距离比从所述阻光膜的端部经由所述第一沟槽到达所述电荷维持部为止的距离长。