[发明专利]固体浸没透镜单元及半导体检查装置有效
| 申请号： | 201780077044.6 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110062903B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 中村共则;中村明裕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G02B21/00;G02B21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 固体浸没透镜单元具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持固体浸没透镜；磁铁，其设置于保持器；及球体，其在与球面相对的位置上通过磁铁的磁力而可旋转地被保持。保持器在球面接触于球体的状态下，可摇动地保持固体浸没透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 浸没 透镜 单元 半导体 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种固体浸没透镜单元，其特征在于，具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持所述固体浸没透镜；磁铁，其设置于所述保持器；及球体，其在与所述球面相对的位置上通过所述磁铁的磁力而可旋转地保持，所述保持器在所述球面接触于所述球体的状态下，可摇动地保持所述固体浸没透镜。
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