[发明专利]固体浸没透镜单元及半导体检查装置有效
| 申请号： | 201780077044.6 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110062903B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 中村共则;中村明裕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G02B21/00;G02B21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固体 浸没 透镜 单元 半导体 检查 装置 | ||
1.一种固体浸没透镜单元，其特征在于，
具备：
固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；
保持器，其保持所述固体浸没透镜；
磁铁，其设置于所述保持器；及
球体，其在与所述球面相对的位置上通过所述磁铁的磁力而可旋转地保持，
所述保持器在所述球面接触于所述球体的状态下，可摇动地保持所述固体浸没透镜。
2.如权利要求1所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
在所述保持器设置有收纳所述球体的收纳部。
3.如权利要求2所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
所述磁铁以与所述收纳部的中央部相对的方式，设置于所述保持器。
4.如权利要求1～3中任一项所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
所述球体设置3个以上。
5.如权利要求1～3中任一项所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
所述保持器由非磁性材料形成。
6.如权利要求4所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
所述保持器由非磁性材料形成。
7.如权利要求1～3中任一项所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
对所述保持器的表面中至少所述球体所接触的区域施以硬化处理。
8.如权利要求4所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
对所述保持器的表面中至少所述球体所接触的区域施以硬化处理。
9.如权利要求5所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
对所述保持器的表面中至少所述球体所接触的区域施以硬化处理。
10.如权利要求6所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
对所述保持器的表面中至少所述球体所接触的区域施以硬化处理。
11.如权利要求1～3中任一项所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
12.如权利要求4所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
13.如权利要求5所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
14.如权利要求6所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
15.如权利要求7所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
16.如权利要求8所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
17.如权利要求9所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
18.如权利要求10所述的固体浸没透镜单元，其特征在于，
还具备沿着与所述球面交叉的方向可移动地支撑所述保持器的支撑机构。
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