[发明专利]用于在彼此隔离的两个区域之间传递移动和力的设备

摘要

用于在以密封方式彼此隔离的第一区域与第二区域之间传递移动和力的设备，该设备包括：在平面中延伸的支撑件；传递元件(8)，该传递元件能够借助于枢轴铰链(22)相对于支撑件旋转地移动，该枢轴铰链具有平行于支撑平面的旋转轴线；在支撑件中的孔(18)，传递元件(8)穿过该孔，并且枢轴铰链(22)被定位在该孔的水平处，传递元件包括在支撑平面的一侧上的至少一个第一传递臂(20.1)和在支撑平面的另一侧上的第二传递臂(20.2)；以及密封的隔离装置(16)，该密封的隔离装置被定位在开口中，使得密封的隔离装置将第一区域与第二区域以密封的方式隔离，并且密封的隔离装置允许传递元件(8)的旋转移动。

主权项

1.用于微电子机械系统的传递设备，所述传递设备能够在彼此密封隔离的第一区域与第二区域之间传递移动和力，所述传递设备包括：在平面中延伸的支撑件；传递元件(8，408)，所述传递元件能够借助于枢轴铰链(22)相对于所述支撑件旋转地移动，所述枢轴铰链具有平行于支撑平面的旋转轴线；在所述支撑件中的孔(18)，所述传递元件(8，408)穿过所述孔，并且所述枢轴铰链(22)被设置在所述孔处，所述传递元件包括至少一个第一传递臂(20.1，420.1)和第二传递臂(20.2，420.2)，所述至少一个第一传递臂在所述第一区域和所述第二区域中的一个中的所述支撑平面的一侧上，所述第二传递臂在所述第一区域和所述第二区域中的另一个中的所述支撑平面的另一侧上；以及密封的隔离装置(16)，所述密封的隔离装置被设置在所述孔(18)中，使得所述密封的隔离装置将所述第一区域与所述第二区域密封地隔离，并且所述密封的隔离装置允许所述传递元件(8，408)的旋转移动。