[发明专利]用于在彼此隔离的两个区域之间传递移动和力的设备

权利要求书

1.用于微电子机械系统的传递设备，所述传递设备能够在彼此密封隔离的第一区域与第二区域之间传递移动和力，所述传递设备包括：

- 在平面中延伸的支撑件；

- 传递元件，所述传递元件能够借助于枢轴铰链相对于所述支撑件旋转地移动，所述枢轴铰链具有平行于支撑平面的旋转轴线，所述传递元件包括至少一个第一传递臂和第二传递臂，所述至少一个第一传递臂在所述第一区域和所述第二区域中的一个中的所述支撑平面的一侧上，所述第二传递臂在所述第一区域和所述第二区域中的另一个中的所述支撑平面的另一侧上；

- 在所述支撑件中的孔，所述传递元件穿过所述孔，并且所述枢轴铰链被设置在所述孔处，

- 密封的隔离装置，所述密封的隔离装置被设置在所述孔中，使得所述密封的隔离装置将所述第一区域与所述第二区域密封地隔离，并且所述密封的隔离装置允许所述传递元件的旋转移动。

2.根据权利要求1所述的传递设备，其中，所述密封的隔离装置包括可弹性变形的膜，所述膜在所述孔的边缘与所述传递元件之间被张紧。

3.根据权利要求2所述的传递设备，其中，所述密封的隔离装置包括在所述膜的面中的至少一个面上的机械加强件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传递设备，其中，所述枢轴铰链包括一个叶片或多个对齐的叶片，所述叶片在所述传递元件与所述孔的边缘之间延伸并且能够扭转变形。

5.根据权利要求4所述的传递设备，其中，所述叶片具有沿正交于所述支撑平面的方向的尺寸，使得一个所述叶片/多个所述叶片沿离面方向具有限制所述传递元件的离面移动的刚度。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的传递设备，其中，所述传递元件包括连接所述第一传递臂和所述第二传递臂的至少一个传递轴，所述传递轴在所述密封的隔离装置的任一侧上沿正交于所述支撑平面的方向延伸。

7.根据权利要求6所述的传递设备，其中，所述枢轴铰链包括一个叶片或多个对齐的叶片，所述叶片在所述传递元件与所述孔的边缘之间延伸并且能够扭转变形，所述叶片连接到所述传递轴，并且由所述传递轴和所述第一传递臂以及所述第二传递臂形成的组件是刚性组件。

8.根据权利要求6所述的传递设备，其中，所述传递元件包括多个传递轴，所述多个传递轴构造成沿正交于所述支撑平面的方向平移移动。

9.根据权利要求8所述的传递设备，其中，所述第一传递臂和所述第二传递臂中的每一个通过铰链铰接到每个传递轴，所述铰链允许旋转和平移，并且其中，叶片布置在所述多个传递轴之间，所述叶片机械地连接到所述第一传递臂和所述第二传递臂中的一个。

10.根据权利要求9所述的传递设备，其中，对于每个传递轴，允许所述传递轴的旋转和平移的所述铰链包括一个或多个联接叶片。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的传递设备，其中，所述第一区域和所述第二区域中的至少一个形成受控气氛室。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的传递设备，所述传递设备包括能够相对于所述支撑件移动的可移动元件，所述可移动元件能够将移动和力施加到所述第一区域中的所述传递元件。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的传递设备，所述传递设备在所述第二区域中包括用于测量施加到所述第一区域中的所述传递元件和/或致动装置的移动和/力的装置。

14.根据权利要求13所述的传递设备，所述传递设备在所述第二区域中包括固定到所述传递元件的电极和至少一个反电极，所述电极和所述至少一个反电极形成用于测量施加到所述第一区域中的所述传递元件和/或致动装置的移动和/或力的装置。