[发明专利]用于DUV光源中的逐脉冲波长目标跟踪的波长控制系统有效
| 申请号： | 201780075020.7 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110036331B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | R·阿拉瓦特;T·P·达菲 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;郭星 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 步进扫描器中的晶片定位误差会导致成像缺陷。改变光源的生成的光的波长可以补偿Z方向上的晶片位置误差。确定晶片的实时z位置，并且将用于抵消该误差的波长目标的变化传送给光源。除了接收新指定的激光波长目标以用于后续激光脉冲突发之外，光源在前馈操作中使用波长目标的这种变化，并且在一个实施例中还结合现有的反馈操作，逐脉冲地针对当前脉冲突发中的后续脉冲。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 duv 光源 中的 脉冲 波长 目标 跟踪 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种激光波长控制的方法，包括：(a)在激光系统控制器中，接收新指定的激光波长目标；(b)由所述激光系统以所述新指定的激光波长目标生成激光脉冲突发；(c)在所述激光系统控制器中，基于所测量的晶片位置误差接收波长目标的变化；(d)基于所接收的波长目标的变化来调节所述激光系统中的棱镜位置；(e)由所述激光系统使用经调节的棱镜位置生成所述激光脉冲突发中的下一激光脉冲；以及(f)当由所述激光系统接收到波长目标的附加变化时，重复步骤(c)‑(e)。
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