[发明专利]传感器元件、惯性传感器和电子设备

摘要

根据本发明技术的一个实施例的一种传感器元件包括基部部分、可移动部分、第一和第二桥接部分、以及加速度检测器单元。所述可移动部分是通过接收沿至少单轴方向的加速度而相对于所述基部部分可移动的。所述第一桥接部分包括第一横梁和第一结构件，所述第一横梁在平行于所述基部部分的主表面的第一轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第一结构件设置于所述第一横梁与所述基部部分之间且支撑所述第一横梁。所述第二桥接部分包括第二横梁和第二结构件，所述第二横梁在正交于所述第一轴且平行于所述主表面的第二轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第二结构件设置于所述第二横梁与所述基部部分之间且支撑所述第二横梁。所述加速度检测器单元设置在所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个上且输出与所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个的变形量相对应的第一检测信号。

主权项

1.一种传感器元件，其包括：具有主表面的基部部分；通过接收沿至少单轴方向的加速度而相对于所述基部部分可移动的可移动部分；第一桥接部分，其包括在平行于所述主表面的第一轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分的第一横梁，以及设置于所述第一横梁与所述基部部分之间且支撑所述第一横梁的第一结构件；第二桥接部分，其包括在正交于所述第一轴且平行于所述主表面的第二轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分的第二横梁，以及设置于所述第二横梁与所述基部部分之间且支撑所述第二横梁的第二结构件；以及设置在所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个上且输出与所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个的变形量相对应的第一检测信号的第一加速度检测器单元。