[发明专利]传感器元件、惯性传感器和电子设备

说明书

根据本发明技术的一个实施例的一种传感器元件包括基部部分、可移动部分、第一和第二桥接部分、以及加速度检测器单元。所述可移动部分是通过接收沿至少单轴方向的加速度而相对于所述基部部分可移动的。所述第一桥接部分包括第一横梁和第一结构件，所述第一横梁在平行于所述基部部分的主表面的第一轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第一结构件设置于所述第一横梁与所述基部部分之间且支撑所述第一横梁。所述第二桥接部分包括第二横梁和第二结构件，所述第二横梁在正交于所述第一轴且平行于所述主表面的第二轴方向上延伸且连接所述基部部分和所述可移动部分，所述第二结构件设置于所述第二横梁与所述基部部分之间且支撑所述第二横梁。所述加速度检测器单元设置在所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个上且输出与所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个的变形量相对应的第一检测信号。

技术领域

本发明技术涉及一种检测加速度的传感器元件，并且涉及各自包括传感器元件的一种惯性传感器和一种电子设备。

背景技术

近年来，使用MEMS(微机电系统)技术的加速度传感器已广泛用于电子设备的姿态检测、移动体的位置检测、相机的图像稳定、人或物体的运动分析等技术领域。在这种类型的加速度传感器中，存在已知的各种检测方法，诸如压电型、压阻型以及静电型(参见，例如，专利文献1至3)。

例如，专利文献1描述了一种惯性传感器，其包括膜、设置在膜的下部的质量体、以及形成于膜上且包括压电体的检测装置，并且基于检测装置的输出测量加速度。

此外，专利文献2描述了一种惯性传感器，其包括板形构件、重量体、连接它们的板形桥接部件、以及分别设置在板形桥接部件的根末端和尖端的压阻元件，并且由那些压阻元件的电阻变化检测加速度。

另外，专利文献3描述了一种静电装置，其包括作为可移动电极的第一电极单元和作为固定电极的第二电极单元，并且基于它们之间的间隙的变化检测电容的变化，以测量加速度。

引用列表

专利文献

专利文献1：未审查的日本专利申请2013-125025

专利文献2：未审查的日本专利申请2015-92145

专利文献3：未审查的日本专利申请2016-59191

发明内容

技术问题

在通过使用单个传感器检测多轴方向上的加速度的加速度传感器中，将由形状或电极位置的变化施加到加速度检测特征上的影响随同传感器尺寸的减小而变得相对大。这使得难以分离检测模式，并且产生沿其他轴的灵敏度，这使得难以获得期望的加速度检测特征。

鉴于如上所述的情况，本发明技术的一个目标是设置一种传感器元件、一种惯性传感器、以及一种电子设备，它们能够抑制沿其他轴的灵敏度的产生并且获得期望的加速度检测特征。

问题的解决方案

根据本发明技术的一个实施例的一种传感器元件包括基部部分、可移动部分、第一桥接部分、第二桥接部分、以及第一加速度检测器单元。

基部部分具有主表面。

可移动部分被配置成通过接收沿至少单轴方向的加速度而相对于基部部分可移动。

第一桥接部分包括第一横梁和第一结构件。第一横梁在平行于主表面的第一轴方向上延伸且连接基部部分和可移动部分。第一结构件设置于第一横梁与基部部分之间且支撑第一横梁。

第二桥接部分包括第二横梁和第二结构件。第二横梁在正交于第一轴且平行于主表面的第二轴方向上延伸并且连接基部部分和可移动部分。第二结构件设置于第二横梁与基部部分之间且支撑第二横梁。