[发明专利]用于高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)的功率输送在审
| 申请号： | 201780064294.6 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109863574A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 维加斯拉夫·巴巴扬;阿道夫·米勒·艾伦;迈克尔·斯托威尔;华忠强;卡尔·R·约翰逊;凡妮莎·法恩;刘菁菁 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于产生和输送用于处理腔室的脉冲高电压信号的系统，包括：远程设置的高电压源、脉冲发生器、第一屏蔽缆线和第二屏蔽缆线，所述远程设置的高电压源产生高电压信号，所述脉冲发生器比所述高电压源相对更靠近所述处理腔室而设置，所述第一屏蔽缆线将高电压信号从远程设置的高电压源输送至脉冲发生器来加以脉冲，所述第二屏蔽缆线将脉冲高电压信号从脉冲发生器输送至处理腔室。一种用于产生和输送脉冲高电压信号到处理腔室的方法，包括以下步骤：在远离处理腔室的位置处产生高电压信号，将高电压信号输送到相对更靠近处理腔室的位置来加以脉冲，对所输送的高电压信号加以脉冲，和将脉冲高电压信号输送到处理腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 处理腔室 高电压信号 脉冲发生器 脉冲高电压 高电压源 屏蔽缆线 远程设置 脉冲 高功率脉冲 磁控溅射 功率输送 信号输送 位置处 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生和输送用于处理腔室的脉冲高电压信号的系统，包括：远程设置的高电压源，所述远程设置的高电压源产生高电压信号；脉冲发生器，所述脉冲发生器比所述高电压源相对更靠近所述处理腔室而设置；第一屏蔽缆线，所述第一屏蔽缆线将所述高电压信号从所述远程设置的高电压源输送至所述脉冲发生器来加以脉冲；和第二屏蔽缆线，所述第二屏蔽缆线将脉冲高电压信号从所述脉冲发生器输送至所述处理腔室。
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