[发明专利]二氧化硅测试探针和其他此类装置在审
| 申请号： | 201780064226.X | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109890551A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | D·W·小莱弗斯克;B·K·纳亚克;K·A·维兰德 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B82Y20/00;G01R1/067;B23K26/36;G02B6/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;乐洪咏 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 装置包括高纯度熔凝二氧化硅片，所述高纯度熔凝二氧化硅片具有小于500μm的厚度，其中，片包括片中的特征体，其中，特征体具有小于50μm的横截面尺寸和至少100nm的深度，其中，特征体相互间隔开的距离小于50μm，以及其中，二氧化硅不含研磨和抛光的标记。 | ||
| 搜索关键词： | 特征体 熔凝二氧化硅 二氧化硅 高纯度 研磨和抛光 测试探针 装置装置 | ||
【主权项】：
1.一种装置，其包括高纯度熔凝二氧化硅片，所述高纯度熔凝二氧化硅片具有小于500μm的厚度，其中，片包括片中的特征体，其中，特征体具有小于50μm的横截面尺寸和至少100nm的深度，其中，特征体相互间隔开的距离小于100μm，以及其中，二氧化硅不含研磨和抛光的标记。
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