[发明专利]微机械薄膜锂铌酸锂电光装置在审
| 申请号： | 201780063035.1 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN109844621A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王骋;张勉;M·隆查尔 | 申请（专利权）人： | 哈佛学院院长等 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;B05D5/06;G02B6/10;G02F1/03;G02F1/225;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李勇;吕小羽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了由薄膜铌酸锂制成的光学装置及其制造。在一些实施方式中，光学装置包括基板和设置在所述基板上的光波导。所述光波导包含铌酸锂。所述光波导具有沿所述基板横向延伸的中央脊。电极对设置在所述光波导的所述中央脊的相对侧。 | ||
| 搜索关键词： | 光波导 光学装置 中央脊 铌酸锂 基板 薄膜 铌酸锂电光 基板横向 装置提供 微机械 电极 延伸 制造 | ||
【主权项】：
1.一种方法，所述方法包括：在铌酸锂膜上沉积第一抗蚀剂；以第一图案在所述第一抗蚀剂上沉积第二抗蚀剂；根据所述第一图案来图案化所述第一抗蚀剂；蚀刻所述铌酸锂膜以将所述第一图案从所述第一抗蚀剂转移到所述铌酸锂膜。
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