[发明专利]玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201780059814.4 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109790064B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 中塚弘树;山本好晴;大野和宏 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板(2)的制造方法，其中，在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的过程中，利用从主体部(5a)具备的供气口(14)供给到处理空间(13)的处理气体(4)来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理之际，朝向搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体6，以使得在形成于玻璃基板2中的进入到处理空间(13)的部位与顶板部(5b)之间的间隙(13a)，形成沿着搬运方向的第一吹扫气体(6)的流动，其中，在玻璃基板(2)的最后部(2e)进入处理空间(13)之前，停止喷射第一吹扫气体(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造方法，在将玻璃基板以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的过程中，利用从所述下部构成体具备的供气口供给到所述处理空间的处理气体来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理之际，朝向所述搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体，以使得在形成于所述玻璃基板中的进入到所述处理空间的部位与所述上部构成体之间的间隙，形成沿着所述搬运方向的所述第一吹扫气体的流动，其特征在于，在所述玻璃基板的最后部进入所述处理空间之前，停止喷射所述第一吹扫气体。
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