[发明专利]玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，在将玻璃基板以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的过程中，利用从所述下部构成体具备的供气口供给到所述处理空间的处理气体来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理之际，朝向所述搬运方向的下游侧从所述处理空间的外部喷射第一吹扫气体，以使得在形成于所述玻璃基板中的进入到所述处理空间的部位与所述上部构成体之间的间隙，形成沿着所述搬运方向的所述第一吹扫气体的流动，其特征在于，

在所述玻璃基板的最后部进入所述处理空间之前，停止喷射所述第一吹扫气体。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在所述玻璃基板的前头部进入所述处理空间之前，开始喷射所述第一吹扫气体。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在对沿着所述搬运方向的长度比所述处理空间长的所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理之际，

在所述玻璃基板的前头部从所述处理空间脱离之后，停止喷射所述第一吹扫气体。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在从所述玻璃基板的最后部进入到所述处理空间的时间点至从所述处理空间脱离的时间点为止的期间，

朝向所述搬运方向的上游侧喷射第二吹扫气体，以使得在所述间隙形成沿着与所述搬运方向相反的方向的所述第二吹扫气体的流动。

5.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在从所述玻璃基板的最后部进入到所述处理空间的时间点至从所述处理空间脱离的时间点为止的期间，

朝向所述搬运方向的上游侧喷射第二吹扫气体，以使得在所述间隙形成沿着与所述搬运方向相反的方向的所述第二吹扫气体的流动。

6.根据权利要求4所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

作为所述第一吹扫气体及所述第二吹扫气体而使用清洁干燥空气。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

作为所述第一吹扫气体及所述第二吹扫气体而使用清洁干燥空气。