[发明专利]容量型气体传感器有效
| 申请号： | 201780054609.9 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109690301B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 伊东荣次;山口善纪;西田达也;松原幸辅 | 申请（专利权）人： | 北陆电气工业株式会社;国立大学法人信州大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在纳米碳材料缠结为三维网眼状的结构的第二电极层与气体感应膜之间不发生剥离的容量型气体传感器。具备：在基板(3)上形成的第一电极层(5)、在第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜(11)、和与第一电极层(5)对向地在气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的第二电极层(13)。至少在第二电极层上设置了具有通气性的补强用树脂层(15)。 | ||
| 搜索关键词： | 容量 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.容量型气体传感器，其特征在于，该容量型气体传感器具备：在基板上形成的第一电极层、在所述第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜、和与所述第一电极层对向地在所述气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的第二电极层，至少在所述第二电极层上设置了具有通气性的补强用树脂层。
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