[发明专利]容量型气体传感器

权利要求书

1.容量型气体传感器，其特征在于，该容量型气体传感器具备：在基板上形成的第一电极层、在所述第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜、和与所述第一电极层对向地在所述气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的第二电极层，

至少在所述第二电极层上设置了具有通气性的补强用树脂层，

所述补强用树脂层采用与所述气体感应膜相同的材料形成，

所述补强用树脂层进入所述第二电极层的空隙部内，所述补强用树脂层的一部分与所述气体感应膜接触。

2.根据权利要求1所述的容量型气体传感器，其中，所述补强用树脂层只在所述第二电极层上存在。

3.根据权利要求1所述的容量型气体传感器，其特征在于，所述第二电极层形成为所述气体感应膜的一部分在周围溢出的大小，具有通气性的补强用树脂层将所述第二电极层和从所述第二电极层溢出的所述气体感应膜的至少一部分覆盖。

4.根据权利要求1所述的容量型气体传感器，其中，所述补强用树脂层的厚度为2μm以下。

5.根据权利要求4所述的容量型气体传感器，其中，所述气体感应膜根据湿度的变化，容量变化。

6.根据权利要求5所述的容量型气体传感器，其中，所述气体感应膜为氟化聚酰亚胺。

7.根据权利要求1或2所述的容量型气体传感器，其中，所述纳米碳材料为选自SWCNT、MWCNT、DWCNT和石墨烯中的1种或多种材料。

8.根据权利要求1所述的容量型气体传感器，其中，在所述基板上形成有与所述第一电极层连接的1个以上的第一电极部和与所述第二电极层连接的1个以上的第二电极部；在所述基板上形成有所述气体感应膜以将所述第一电极层覆盖并且使所述1个以上的第一电极部和所述1个以上的第二电极部露出；所述第二电极层与所述1个以上的第二电极部经由将所述气体感应膜贯通的导电性通孔部电连接。

9.根据权利要求1所述的容量型气体传感器，其中，在所述基板上形成有在所述第二电极层的两端部重叠的状态下连接的一对电极部；所述补强用树脂层具有将所述第二电极层的所述两端部和所述一对电极部的一部分覆盖的形状尺寸。

10.容量型气体传感器，其特征在于，该容量型气体传感器具备：在基板上形成的第一电极层、在所述第一电极层上形成的具有通气性的气体感应膜、和与所述第一电极层对向地在所述气体感应膜上形成的包含缠结为三维网眼状的纳米碳材料的两条第二电极层，

在所述气体感应膜上以与所述第一电极层交叉的方式留有间隔地形成所述两条第二电极层；所述两条第二电极层具有所述气体感应膜的一部分在周围溢出的宽度尺寸；具有通气性的补强用树脂层将所述两条第二电极层和从所述两条第二电极层溢出的所述气体感应膜的至少一部分覆盖，

所述补强用树脂层采用与所述气体感应膜相同的材料形成，

所述补强用树脂层进入所述第二电极层的空隙部内，所述补强用树脂层的一部分与所述气体感应膜接触。