[发明专利]激光加工装置及激光加工方法有效
申请号: | 201780054142.8 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN109689278B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 石川恭平;中村直幸;山本达也;濑口正记 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;B23K26/082;G02B26/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 激光加工装置(100)具有:激光振荡器(1),其射出激光束(L);聚光透镜(4),其将激光束(L)照射至工件(W);聚光位置控制机构(2),其配置在激光振荡器(1)和聚光透镜(4)之间的激光束(L)的光路上,对激光束(L)的发散角及向聚光透镜(4)射入的激光束(L)的入射径进行控制;激光束偏转器(3),其在激光束(L)射入至聚光透镜(4)之前,将激光束(L)偏转;以及出射角度控制机构(5),其对由激光束偏转器(3)偏转后的激光束(L)的从聚光透镜(4)起的出射角度进行控制。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,其特征在于,具有:激光振荡器,其射出激光束;聚光透镜,其将所述激光束照射至工件;聚光位置控制机构,其配置在所述激光振荡器和所述聚光透镜之间的所述激光束的光路上,对所述激光束的发散角及向所述聚光透镜射入的所述激光束的入射径进行控制;激光束偏转器,其在所述激光束射入至所述聚光透镜之前,将所述激光束偏转;以及出射角度控制机构,其对由所述激光束偏转器偏转后的所述激光束的从所述聚光透镜起的出射角度进行控制。
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