[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光振荡器，其射出激光束；

聚光透镜，其将所述激光束照射至工件；

聚光位置控制机构，其配置在所述激光振荡器和所述聚光透镜之间的所述激光束的光路上，对所述激光束的发散角及向所述聚光透镜射入的所述激光束的入射径进行控制；

激光束偏转器，其在所述激光束射入至所述聚光透镜之前，将所述激光束偏转；

出射角度控制机构，其通过使所述聚光透镜沿所述聚光透镜的光轴方向移动，从而对所述激光束偏转器和所述聚光透镜之间的距离进行变更；以及

控制部，其基于所述工件的形状，对所述聚光位置控制机构进行控制，由此在激光束扫描中对所述激光束的所述工件的表面中的照射径及所述光轴方向的聚光位置进行控制。

2.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光振荡器，其射出激光束；

聚光透镜，其将所述激光束照射至工件；

聚光位置控制机构，其配置在所述激光振荡器和所述聚光透镜之间的所述激光束的光路上，对所述激光束的发散角及向所述聚光透镜射入的所述激光束的入射径进行控制；

激光束偏转器，其在所述激光束射入至所述聚光透镜之前，将所述激光束偏转；

出射角度控制机构，其使在所述激光束偏转器和所述聚光透镜之间设置的楔形基板的位置沿所述聚光透镜的光轴方向移动而进行调整，由此对通过激光束偏转器进行偏转后的所述激光束的从所述聚光透镜起的出射角度进行控制；以及

控制部，其对所述激光振荡器、所述聚光位置控制机构、所述激光束偏转器及所述出射角度控制机构进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光束偏转器是声光偏转器。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光束偏转器是棱镜及在与所述聚光透镜的光轴垂直的平面上使所述棱镜旋转的旋转机构。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光振荡器是脉冲CO₂激光器。

6.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于所述工件的曲率半径，对所述出射角度控制机构进行控制，以使所述激光束相对于所述工件垂直地射入。

7.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制部基于所述工件的曲率半径，对所述出射角度控制机构进行控制，以将所述激光束的聚光位置调整至所述工件上。

8.一种激光加工方法，其特征在于，

使用权利要求1至7中任一项所述的激光加工装置，使所述激光束多次扫描而对所述工件进行加工。

9.根据权利要求8所述的激光加工方法，其特征在于，

所述工件是碳纤维强化塑料。