[发明专利]对准方法有效
| 申请号： | 201780049623.X | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN109643071B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | F·G·C·比杰南;S·G·J·马斯杰森;E·M·休瑟博斯;V·德梅吉斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;郭星 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种确定对准标记(29)在衬底上的位置的方法，该对准标记(29)包括第一段(29a)和第二段(29b)，该方法包括用辐射照射对准标记，检测由对准标记衍射的辐射并且生成作为结果的对准信号。对准信号包括仅在第一段照射期间接收的第一分量(光束轮廓35在左侧)、在仅第二段的照射期间接收的第二分量(光束轮廓35在右侧)、以及在这两个段的同时照射期间接收的第三分量(当光束通过29a和29b之间的边界时)。使用对准信号的第一分量、第二分量和第三分量确定段(29a，29b)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种确定对准标记在衬底上的位置的方法，所述对准标记包括第一段和第二段，所述方法包括：利用辐射照射所述对准标记，检测由所述对准标记衍射的辐射并且生成作为结果的对准信号，所述对准信号包括仅在所述第一段的照射期间被接收的第一分量、仅在所述第二段的照射期间被接收的第二分量、以及在两个段的同时照射期间被接收的第三分量；以及使用所述对准信号的所述第一分量、所述第二分量和所述第三分量确定所述段的位置。
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