[发明专利]高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列及其制造工艺有效
| 申请号： | 201780049606.6 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN109642966B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 乌穆特·腾卡·桑利;吉泽拉·许茨;卡拉曼·凯斯金博拉;焦成革 | 申请（专利权）人： | 马克斯-普朗克科学促进学会 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列，其包括在公共载体上的复数个全材料菲涅耳波带片。还涉及通过提供包括多个微柱的公共载体和将至少两种不同材料的交替层沉积到至少某些微柱上以制造全材料菲涅耳波带片前体阵列的工艺。还涉及用于生产高分辨率全材料菲涅耳波带片(FZP)阵列的装置；该用于生产高分辨率全材料菲涅耳波带片阵列的装置包括用于在公共载体中提供复数个微柱的第一装置、将至少两种不同材料的交替层施加到布置在公共载体上的至少一些微柱上的沉积装置以及切片装置，该切片装置将全材料菲涅耳波带片从柱中切出。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 材料 菲涅耳 波带片 阵列 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1.全材料菲涅耳波带片前体阵列，其特征在于公共载体上布置有多个全材料菲涅耳波带片前体。
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