[发明专利]衬底处理装置

摘要

本发明的目的在于使衬底处理装置中的金属离子的除去性能迅速恢复。为了实现该目的，衬底处理装置1具备处理部11、供给罐12和回收罐13。在处理部11中，利用来自第1循环路径211的处理液91对衬底9实施蚀刻处理。使用完毕的处理液91被导入回收罐13，在第2循环路径223内循环。第2循环路径223包含第1部分配管223a和第2部分配管223b，在第1部分配管223a的内壁施加有包含将处理液中的金属离子除去的金属捕捉基团的金属除去涂层233。从酸系药液供给部24向第1部分配管223a供给酸系药液92从而使得金属捕捉基团的金属吸附能力再生。

主权项

1.衬底处理装置，其具备：供给罐，其贮存处理液；处理部，其向衬底供给所述供给罐内的处理液从而进行蚀刻处理；回收路径，其将供于所述蚀刻处理后的处理液导入回收罐；处理液循环路径，其从所述回收罐导出并返回至所述回收罐；和泵，其经由所述处理液循环路径而使所述回收罐内的处理液循环，其中，在作为所述处理液循环路径的至少一部分的配管的内壁施加有涂层，所述涂层包含将所述处理液中的金属离子除去的金属捕捉基团，所述衬底处理装置还具备酸系药液供给部，所述酸系药液供给部向施加有所述涂层的所述配管供给酸系药液从而将金属离子从所述金属捕捉基团除去。