[发明专利]用于溅射源的脉冲形状控制器在审
| 申请号： | 201780046500.0 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN109496344A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·W·斯托威尔;维加斯拉夫·巴巴扬;刘晶晶;华忠强 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 此处所呈现的实施方式涉及用于基板处理系统的脉冲控制系统。脉冲控制系统包括功率源、系统控制器和脉冲形状控制器。脉冲形状控制器耦接至功率源且与系统控制器连通。脉冲形状控制器包括第一切换组件和第二切换组件。第一切换组件包括具有第一端和第二端的第一切换器。第一切换器可配置于断开状态与导通状态之间。第二切换组件包括具有第一端和第二端的第二切换器。第一切换器在导通状态中且第二切换器在断开状态中。在导通状态中的第一切换器配置成允许将由功率源所供应的脉冲传送通过脉冲形状控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 切换器 脉冲形状 控制器 切换组件 导通状态 功率源 脉冲控制系统 系统控制器 断开状态 第一端 基板处理系统 脉冲传送 溅射源 可配置 耦接 连通 配置 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲控制系统，包含：功率源；系统控制器；和脉冲形状控制器，所述脉冲形状控制器耦接至所述功率源，且与所述系统控制器连通，所述脉冲形状控制器包含：第一切换组件，所述第一切换组件具有第一切换器，所述第一切换器具有耦接的第一端和第二端，所述第一切换器可配置于断开状态与导通状态之间；和第二切换组件，所述第二切换组件具有第二切换器，所述第二切换器具有第一端和第二端，所述第二切换器可配置于所述断开状态与所述导通状态之间，其中所述第一切换器在所述导通状态中且所述第二切换器在所述断开状态中，且其中在所述导通状态中的所述第一切换器配置成允许将由所述功率源所供应的脉冲传送通过所述脉冲形状控制器；和其中所述控制器配置成在所述导通状态与所述断开状态之间改变所述第一切换器，且在所述断开状态与所述导通状态之间改变所述第二切换器。
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