[发明专利]用于降低负载锁中的压力的方法和相关泵单元

摘要

本发明涉及一种使用泵单元(1)降低用于在大气压下装载和卸载基板的锁中的压力的方法，所述泵单元包括初级真空泵(2)和在被泵送气体的流动方向上布置在所述初级真空泵(2)上游的次级真空泵(3)。在压力下降期间，并且直至该装载和卸载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据次级真空泵(3)的操作参数来控制该次级真空泵(3)的旋转速度，以增大由该次级真空泵生成的流量(SoR)，使得由该次级真空泵生成的流量(SoR)保持在一范围内，该范围的上限值对应于初级真空泵生成的流量(So1)的六倍，下限值对应于初级真空泵生成的流量(So1)的1.3倍。本发明还涉及一种用于实施所述降低压力的方法的泵单元。

主权项

1.用于降低负载锁中的压力的方法，该负载锁用于基板并处于大气压下，该方法使用泵单元(1)进行，该泵单元具有粗真空泵(2)和在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵(2)的上游的高真空泵(3)，其特征在于，在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据高真空泵(3)的操作参数来控制该高真空泵(3)的旋转速度，以增大该高真空泵的生成流量(SoR)，使得该高真空泵的生成流量(SoR)保持在这样一范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量(So1)的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量(So1)的1.3倍。