[发明专利]用于降低负载锁中的压力的方法和相关泵单元

权利要求书

1.用于降低负载锁中的压力的方法，该负载锁用于基板并处于大气压下，该方法使用泵单元(1)进行，该泵单元具有粗真空泵(2)和在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵(2)的上游的高真空泵(3)，其特征在于，在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，根据高真空泵(3)的操作参数来控制该高真空泵(3)的旋转速度，以增大该高真空泵的生成流量(SoR)，使得该高真空泵的生成流量(SoR)保持在这样一范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量(So1)的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量(So1)的1.3倍。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，高真空泵(3)的操作参数是该高真空泵(3)的电机(7)的参数。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当检测到高真空泵(3)的操作参数的值已经超过预定的触发阈值持续第一预定时间时，根据该高真空泵(3)的操作参数开始对高真空泵(3)的旋转速度的控制。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，如果高真空泵(3)的操作参数的值大于预定的安全阈值持续超过第二预定时间，则强制该高真空泵(3)的旋转速度下降。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，如果高真空泵(3)的操作参数的值小于预定的等待阈值持续超过第三预定时间，则将该高真空泵(3)的旋转速度设定成待机旋转速度。

6.泵单元，它包括粗真空泵(2)和高真空泵(3)，所述高真空泵(3)在被泵送气体的流动方向上布置在所述粗真空泵(2)的上游，并且具有变频驱动器(8)，其特征在于，该高真空泵(3)包括控制单元(9)，所述控制单元连接到所述变频驱动器(8)，并且构造成根据表示高真空泵(3)的操作参数的信号来控制该高真空泵(3)的旋转速度，使得在压力下降期间并且直至负载锁中的压力达到预定的低压阈值，该高真空泵的生成流量(SoR)增加到落入这样一范围内，在该范围中，上限值是粗真空泵的生成流量(So1)的六倍，下限值是粗真空泵的生成流量(So1)的1.3倍。

7.根据权利要求6所述的泵单元，其特征在于，粗真空泵(2)包括用于泵级(T1、T2)的释放模块。

8.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，所述表示高真空泵(3)的操作参数的信号是该高真空泵(3)的电机(7)的参数。

9.根据权利要求8所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)的电机(7)的参数是电流。

10.根据权利要求8所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)的电机(7)的参数是功率。

11.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，所述泵单元具有旁路管道(10)，该旁路管道将粗真空泵(2)的入口(4)连接到高真空泵(3)的入口(11)，该旁路管道(10)具有排出模块，所述排出模块设计成当粗真空泵的吸入压力(P1)超过高真空泵的吸入压力(Pasp)达到介于100和400mbar之间的预定的过量值(ΔP)时打开。

12.根据权利要求6或7所述的泵单元，其特征在于，该高真空泵(3)是罗茨真空泵。