[发明专利]混合检查系统有效
| 申请号： | 201780042408.7 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN109416330B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 尾形洁;表和彦;伊藤义泰 | 申请（专利权）人： | 株式会社理学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/201 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 汪晶晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 该混合检查系统是包括第一检查设备(1)和第二检查设备(2)的检查系统，其中第一检查设备(1)基于通过用X射线照射样本(11)获得的X射线测量数据来检查样本(11)，并且第二检查设备(2)通过使用不采用X射线的测量技术来检查样本(11)。由第一检查设备(1)获得的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果被输出到第二检查设备(2)。此外，第二检查设备(2)利用从第一检查设备(1)输入的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果来分析样本(11)的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 检查 系统 | ||
【主权项】：
1.一种混合检查系统，包括：第一检查设备，用于基于通过用X射线照射样本获得的X射线测量数据来检查样本；以及第二检查设备，用于通过不使用X射线的测量方法来检查样本，其中由第一检查设备获得的所述X射线测量数据和所述X射线测量数据的分析结果之一被输出到第二检查设备，并且第二检查设备通过使用由第一检查设备获得的所述X射线测量数据和所述X射线测量数据的所述分析结果之一来检查样本。
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