[发明专利]多层X射线源靶在审
申请号: | 201780040519.4 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN109417009A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | V·S·鲁滨逊;Y·梁;T·R·拉伯;G·T·达拉科斯;C·维尔德 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
主分类号: | H01J35/08 | 分类号: | H01J35/08;H01J35/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 汪骏飞;侯颖媖 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开涉及多层X射线源靶的生产和使用。在某些实现方式中,X射线生成材料层可以与热传导层交错。为了防止层的层离,与各种机械、化学和结构方法相关,包括用于减小与沉积层关联的内部应力和用于增加层之间的结合强度的方法。 | ||
搜索关键词: | 多层 热传导层 生成材料 沉积层 防止层 增加层 层离 减小 交错 关联 生产 | ||
【主权项】:
1.一种X射线源,其包括:配置成发射电子束的发射器;以及配置成当由电子束撞击时生成X射线的靶,所述靶包括:热传导衬底;两个或以上的X射线生成层,其中所述X射线生成层被至少一个中间热传导层隔开;以及一个或多个界面层,形成于相应的一个X射线生成层和所述第一热传导层或相应的一个中间热传导层中的一者或两者之间。
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