[发明专利]法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法

摘要

法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法包括：形成工序，其在晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层，且形成将第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿多条线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在形成工序之后，通过激光的照射，沿多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，且沿多条线的各个将晶圆切断成多个基板；及去除工序，其在形成工序与切断工序之间、或在切断工序之后，通过蚀刻而自牺牲层将去除预定部去除。

主权项

1.一种法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法，其特征在于，包括：形成工序，其在沿多条线的各个切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、以及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，以1个所述第1镜部、1个所述去除预定部、及1个所述第2镜部自1个所述基板侧按该顺序配置的方式进行形成，且形成所述第1镜层、所述牺牲层、及所述第2镜层的至少一者沿多条所述线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在所述形成工序之后，利用激光的照射，沿多条所述线的各个在所述晶圆的内部形成改质区域，且自所述改质区域沿所述晶圆的厚度方向使龟裂伸展，由此沿多条所述线的各个将所述晶圆切断成多个所述基板；及去除工序，其在所述形成工序与所述切断工序之间、或在所述切断工序之后，通过蚀刻而自所述牺牲层将所述去除预定部去除。