[发明专利]法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法

说明书

法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法包括：形成工序，其在晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层，且形成将第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿多条线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在形成工序之后，通过激光的照射，沿多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，且沿多条线的各个将晶圆切断成多个基板；及去除工序，其在形成工序与切断工序之间、或在切断工序之后，通过蚀刻而自牺牲层将去除预定部去除。

技术领域

本发明涉及一种法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法。

背景技术

作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、在基板上经由空隙而相互相对的固定镜及可动镜、及划定空隙的中间层的滤光器(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-506154号公报

发明内容

发明所要解决的问题

上述那样的法布里-帕罗干涉滤光器是微细的构造体，因此，在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，难以使制造效率及成品率这两者提高。

因此，本发明的目的在于，提供一种可使制造效率及成品率这两者提高的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法包括：形成工序，其在沿多条线的各个切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，将具有分别作为固定镜而发挥功能的预定的多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、以及具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，以1个第1镜部、1个去除预定部、及1个第2镜部自1个基板侧按该顺序配置的方式进行形成，且形成第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿多条线的各个部分地薄化而成的第1薄化区域；切断工序，其在形成工序之后，利用激光的照射，沿多条线的各个在晶圆的内部形成改质区域，且自改质区域沿晶圆的厚度方向使龟裂伸展，由此沿多条线的各个将晶圆切断成多个基板；及去除工序，其在形成工序与切断工序之间、或在切断工序之后，通过蚀刻而自牺牲层将去除预定部去除。

在该法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，在形成将第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿各线部分地薄化而成的第1薄化区域之后，通过激光的照射，沿各线在晶圆的内部形成改质区域。由此，可抑制激光的散射等，而在晶圆的内部可靠地形成改质区域。再有，由于第1镜层、牺牲层、及第2镜层的至少一者沿各线部分地被薄化，因而在沿各线将晶圆切断成多个基板时，可抑制在第1镜层、牺牲层、及第2镜层产生损伤。因此，根据该法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法，可使制造效率及成品率这两者提高。再者，“第1薄化区域”包含将第1镜层、牺牲层、及第2镜层中的沿各线的部分的全部去除后的区域。

在本发明的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，在形成工序中，也可在晶圆的第2主面形成应力调整层，且形成将应力调整层沿多条线的各个部分地薄化而成的第2薄化区域。由此，可抑制因第1主面侧与第2主面侧之间的层构成不一致而引起的晶圆的翘曲。再有，由于应力调整层沿各线部分地被薄化，因而在沿各线将晶圆切断成多个基板时，可抑制在应力调整层产生损伤。再者，“第2薄化区域”包含将应力调整层中的沿各线的部分的全部去除后的区域。

在本发明的一个方式所涉及的法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法中，在切断工序中，也可通过使贴附于应力调整层侧的扩展胶带扩张，而自改质区域沿晶圆的厚度方向使龟裂伸展。由此，可抑制在具有分别作为可动镜而发挥功能的预定的多个第2镜部的第2镜层，因扩展胶带的贴附而产生损伤。再有，因第2薄化区域的存在，而扩展胶带的扩张力易集中于改质区域及其附近部分，因此，可自改质区域在晶圆的厚度方向上容易地使龟裂伸展。