[发明专利]蓝宝石薄膜涂覆之基板有效
| 申请号： | 201780030234.2 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN109312447B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 谢国伟;林永锐;谭海岚 | 申请（专利权）人： | 浸大科研发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 | 代理人： | 王琴;曹玉存 |
| 地址： | 中国香港九龙九龙塘联福道三*** | 国省代码： | 香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种将较硬薄膜基板层转移至较软可挠基板上的方法。详言之，本发明提供一种将蓝宝石薄膜层沉积于较软可挠基板（例如石英、熔融硅石、硅、玻璃、钢化玻璃、PET、聚合物、塑料、纸及织物）上的方法。此组合向较软可挠基板提供蓝宝石薄膜的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种将蓝宝石涂覆于基板上的方法，其特征在于，包括：在室温下的一电子束蒸发或喷溅沉积程序，其中，蓝宝石直接沉积于一基板上以形成一蓝宝石涂覆之基板，该基板选自于石英、熔融硅石、硅、玻璃或韧化玻璃，其中，该基板在沉积时未经外部冷却或加热；一退火程序，其中，该蓝宝石涂覆之基板在一退火温度下退火并持续一有效时间，该退火温度约介于室温与2040℃之间。
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