[发明专利]蓝宝石薄膜涂覆之基板有效
| 申请号: | 201780030234.2 | 申请日: | 2017-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN109312447B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
| 发明(设计)人: | 谢国伟;林永锐;谭海岚 | 申请(专利权)人: | 浸大科研发展有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08 |
| 代理公司: | 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 | 代理人: | 王琴;曹玉存 |
| 地址: | 中国香港九龙九龙塘联福道三*** | 国省代码: | 香港;81 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 蓝宝石 薄膜 | ||
1.一种将蓝宝石涂覆于基板上的方法,其特征在于,包括:
在室温下的一电子束蒸发或喷溅沉积程序,其中,蓝宝石直接沉积于一基板上以形成一蓝宝石涂覆之基板,该基板选自于石英、熔融硅石、硅、玻璃或韧化玻璃,其中,该基板在沉积时未经外部冷却或加热;
一退火程序,其中,该蓝宝石涂覆之基板在一退火温度下退火并持续一有效时间,该退火温度介于室温与2040℃之间;
其中,该蓝宝石在该基板上沉积为一掺杂蓝宝石薄膜;
其中,该蓝宝石:掺杂成分的比例为1:x;其中,x的范围介于1至3。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该基板包括至少一材料,该材料的莫氏硬度值小于该蓝宝石的莫氏硬度值。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该掺杂蓝宝石薄膜的掺杂成分包括铬、氧化铬、镁、氧化镁、铍、氧化铍、锂、氧化锂、钠、氧化钠、钾、氧化钾、钙、氧化钙、钼、氧化钼、钨与氧化钨之中的一或多个。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该基板的厚度比该蓝宝石薄膜的厚度大一或多个数量级。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,该蓝宝石薄膜的厚度为该基板的厚度的1/1000。
6.如权利要求4所述的方法,其特征在于,该蓝宝石薄膜的厚度介于10nm与1000nm之间。
7.如权利要求4所述的方法,其特征在于,该蓝宝石薄膜的厚度介于10nm与100nm之间。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该有效时间不少于30分钟且不多于10小时。
9.一种保护基板的表面的方法,其特征在于,使用如权利要求1所述的方法将蓝宝石涂覆于该表面。
10.一种用于显示器的屏幕,其特征在于,该屏幕使用如权利要求1所述的方法制造。
11.一种蓝宝石涂层的组成物,其特征在于,根据权利要求3所述的方法制作并作为该蓝宝石涂层的独特识别方式。
12.一种蓝宝石涂覆之基板,其特征在于,由如权利要求1所述的方法制作。
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