[发明专利]带有倾斜支撑台的标准样品、扫描型电子显微镜的评价方法和SiC基板的评价方法有效
| 申请号： | 201780026029.9 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN109155227B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 金子忠昭;芦田晃嗣 | 申请（专利权）人： | 学校法人关西学院 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G01N1/00;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;谢弘 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 标准样品(41)形成有由单晶SiC组成的台阶/平台结构，并且每个台阶的表面是第一叠层取向或第二叠层取向的其中任一者。另外，当将从扫描型电子显微镜照射的电子束相对于平台表面上的垂线所夹的角定义为入射电子角时，在该标准样品(41)中，表面正下方的第一叠层取向的平台的影像和表面正下方的第二叠层取向的平台的影像的明暗差即反差，根据入射电子角而变化。即使在SiC基板具有偏角(例如，1°至8°)的情况下，通过使用能够校正该偏角的倾斜支撑台(20a)，也可获得反映在第一叠层取向和第二叠层取向的差值上的清晰反差，而与偏角无关。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 倾斜 支撑 标准 样品 扫描 电子显微镜 评价 方法 sic | ||
【主权项】：
1.一种带有倾斜支撑台的标准样品，其包括：扫描型电子显微镜用标准样品，其用于评价扫描型电子显微镜的性能；和倾斜支撑台，其用于支撑所述扫描型电子显微镜用标准样品，其特征在于：所述扫描型电子显微镜用标准样品，是由六方晶系的单晶SiC组成且具有偏角，并且在表面形成有台阶/平台结构，该台阶/平台结构是由半个单位高度的台阶和原子级平坦的平台组成，并且，各平台的表面是第一叠层取向或第二叠层取向的其中任一者，所述倾斜支撑台的支撑面，具有与所述扫描型电子显微镜用标准样品的偏角相同的倾斜角，当将由所述扫描型电子显微镜照射的电子束相对于平台表面的垂线所夹的角定义为入射电子角时，表面正下方的第一叠层取向的平台的影像和表面正下方的第二叠层取向的平台的影像的明暗差即反差，与所述扫描型电子显微镜用标准样品的偏角无关，而是根据所述入射电子角而变化。
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