[发明专利]基板载体组件、基板载体以及用于这种基板载体组件的屏蔽段

摘要

本发明涉及一种基板载体组件，其用在通过化学气相沉积在半导体基板上生长外延层的系统中，所述基板载体组件包括：具有第一表面侧的基板载体，所述第一表面的一区域部分设置有凹陷兜孔，所述凹陷兜孔用于在使用期间容纳所述半导体基板，以及一个或多个屏蔽段，其被配置成可拆卸地定位的板形元件，所述板形元件具有覆盖表面侧，所述覆盖表面侧用于基本上覆盖邻近所述兜孔的所述第一表面的其余区域部分，以及互锁装置，其用于将所述一个或多个屏蔽段与所述基板载体互锁。而且，本发明还涉及一种基板载体以及用于该基板载体组件中的屏蔽段。

主权项

1.一种基板载体组件，用在通过化学气相沉积在半导体基板上生长外延层的系统中，所述基板载体组件包括：基板载体，其具有第一表面侧，所述第一表面的一区域部分设置有凹陷兜孔，所述凹陷兜孔用于在使用期间容纳所述半导体基板，以及一个或多个屏蔽段，其被配置成可拆卸地定位的板形元件，所述板形元件具有覆盖表面侧，所述覆盖表面侧用于基本上覆盖邻近所述兜孔的所述第一表面的其余区域部分，以及互锁装置，其用于将所述一个或多个屏蔽段与所述基板载体互锁，其中，所述互锁装置包括至少一对配合的第一互锁元件和第二互锁元件，所述第一互锁元件与所述基板载体形成整体部件，并且所述第二互锁元件与所述一个或多个屏蔽段形成整体部件。