[发明专利]超声波器件、超声波模块和超声波测量装置

摘要

提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在基板上，并堵塞第一开口及第二开口；发送用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第一开口重叠的位置，发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第二开口重叠的位置，接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在基板的厚度方向上，发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。

主权项

1.一种超声波器件，其特征在于，具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在所述基板上，并堵塞所述第一开口及所述第二开口；发送用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第一开口重叠的位置，所述发送用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第二开口重叠的位置，所述接收用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在所述基板的厚度方向上，所述发送用压电膜的厚度尺寸比所述接收用压电膜的厚度薄。