[发明专利]超声波器件、超声波模块和超声波测量装置

权利要求书

1.一种超声波器件，其特征在于，具备：

基板，具有第一开口和第二开口；

支承膜，设在所述基板上，并堵塞所述第一开口及所述第二开口；

发送用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第一开口重叠的位置，所述发送用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及

接收用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第二开口重叠的位置，所述接收用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，

在所述基板的厚度方向上，所述发送用压电膜的厚度尺寸比所述接收用压电膜的厚度薄，

所述支承膜包括堵塞所述第一开口的第一振动部和堵塞所述第二开口的第二振动部，

发送换能器构成为包括所述第一振动部和所述发送用压电膜，

接收换能器构成为包括所述第二振动部和所述接收用压电膜，

所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率不同，所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率之差在0.2MHz以上且0.8MHz以下。

2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述发送用压电膜的厚度尺寸在300nm以上且2750nm以下，

所述接收用压电膜的厚度尺寸在600nm以上且3100nm以下，

所述发送用压电膜与所述接收用压电膜的厚度尺寸之差在350nm以上。

3.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

所述第一开口的开口宽度小于所述第二开口的开口宽度。

4.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述接收换能器的固有频率小于所述发送换能器的固有频率。

5.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述超声波器件具有极化电压输出部，所述极化电压输出部向所述发送用压电膜施加发送极化电压，并向所述接收用压电膜施加接收极化电压，

所述发送极化电压小于所述接收极化电压。

6.一种超声波模块，其特征在于，具备超声波器件和容纳所述超声波器件的壳体，

所述超声波器件具备：

基板，具有第一开口和第二开口；

支承膜，设在所述基板上，并堵塞所述第一开口及所述第二开口；

发送用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第一开口重叠的位置，所述发送用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及

接收用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第二开口重叠的位置，所述接收用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，

在所述基板的厚度方向上，所述发送用压电膜的厚度尺寸比所述接收用压电膜的厚度薄，

所述支承膜包括堵塞所述第一开口的第一振动部和堵塞所述第二开口的第二振动部，

发送换能器构成为包括所述第一振动部和所述发送用压电膜，

接收换能器构成为包括所述第二振动部和所述接收用压电膜，

所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率不同，所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率之差在0.2MHz以上且0.8MHz以下。

7.一种超声波测量装置，其特征在于，具备超声波器件和控制所述超声波器件的控制部，

所述超声波器件具备：

基板，具有第一开口和第二开口；

支承膜，设在所述基板上，并堵塞所述第一开口及所述第二开口；

发送用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第一开口重叠的位置，所述发送用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及

接收用压电膜，设在所述支承膜上，且从所述基板的厚度方向观察时，设在与所述第二开口重叠的位置，所述接收用压电膜在所述基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，

在所述基板的厚度方向上，所述发送用压电膜的厚度尺寸比所述接收用压电膜的厚度薄，

所述支承膜包括堵塞所述第一开口的第一振动部和堵塞所述第二开口的第二振动部，

发送换能器构成为包括所述第一振动部和所述发送用压电膜，

接收换能器构成为包括所述第二振动部和所述接收用压电膜，

所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率不同，所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率之差在0.2MHz以上且0.8MHz以下。