[发明专利]非热等离子体发射器和用于控制的设备有效
| 申请号： | 201780025703.1 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN109310461B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | B.N.埃克特;H.长;B.K.埃克特 | 申请（专利权）人： | 智像控股有限责任公司 |
| 主分类号： | A61B18/04 | 分类号： | A61B18/04;H05H1/24;H05H1/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | AC电源在受控制的功率电平处以期望频率驱动和控制非热等离子体发射器的阵列。该电源包括升压变压器、平衡驱动器和控制器。该变压器在阵列与将阵列连接到电源的电缆的组合电容的谐振频率下操作。进入阵列中的功率由控制器监控，并且可以由用户调整。平衡驱动器可以由控制器直接驱动。控制器监控变压器初级绕组电压与栅极驱动电压之间的相位关系，并且将驱动频率调整为谐振。替换地，平衡驱动器被配置为振荡器，该振荡器默认以谐振驱动变压器。来自变压器驱动器的信号生成对控制器的中断以用于同步用于功率控制的电流和电压测量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发射器 用于 控制 设备 | ||
【主权项】：
1.一种非热等离子体设备，包括：基板，具有顶部表面和底部表面，所述基板在所述顶部表面与所述底部表面之间不具有通孔，所述基板由电介质材料制成；多个驱动电极，处于所述基板的顶部表面上；以及多个接地电极，处于所述基板的底部表面上，使得多个等离子体发射器在所述驱动电极与所述接地电极之间的基板的表面上形成。
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