[发明专利]用于以可变空间分辨率对晶片等对象进行2D/3D检测的共焦色差装置和方法有效
| 申请号： | 201780020086.6 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109073369B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吉莱斯·弗莱斯阔特;阿兰·库特维尔;菲利普·加斯塔尔多 | 申请（专利权）人： | FOGALE纳米技术公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B21/00;G01N21/956;H01L21/66;G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测诸如晶片等对象(10)的表面的共焦色差装置，其包括具有收集孔(14)的多个光学测量通道，收集孔(14)被布置用于在多个测量点(15)处通过色差透镜(13)收集由对象(10)反射的光，以及放大透镜(31)，用于引入收集孔(14)和测量点(15)的空间重新分配之间的变化的或可变的例因子。本发明还涉及一种用于检测诸如包括三维结构(11)的晶片等对象(10)的表面的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 可变 空间 分辨率 晶片 对象 进行 检测 色差 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测对象(10)的表面的共焦色差装置，对象(10)例如是晶片，所述装置包括：‑色差透镜(13)，其具有扩大的轴向色差；‑光源(19)，其用于通过色差透镜(13)，使用聚焦在不同轴向距离处的多个光学波长来照射对象(10)；‑多个光学测量通道(24)，其具有收集孔(14)，布置为在多个测量点(15)处通过色差透镜(13)收集由对象(10)反射的光；其特征在于，还包括放大透镜(31)，放大透镜(31)布置为引入收集孔(14)和测量点(15)的空间重新分配之间的变化的或可变的比例因子。
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