[发明专利]脆性衬底的分断方法有效
| 申请号： | 201780012693.8 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN108698254B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/027;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 日本国大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种脆性衬底的分断方法。准备刀头(51)，所述刀头(51)通过具有第1～第3面(SD1～SD3)而具有棱线(PS)及顶点(PP)。使刀头(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上沿着从棱线(PS)向第1面(SD1)的方向滑动，由此以无裂痕状态形成具有槽形形状的槽线(TL)。刀头(51)的棱线(PS)将脆性衬底(4)的缘(ED)切下，由此使厚度方向(DT)上的脆性衬底(4)的裂痕从缘(ED)沿着槽线(TL)伸展，以此形成裂痕线(CL)。由于裂痕线(CL)，在槽线(TL)的下方脆性衬底(4)与槽线(TL)交叉的方向上的连续相连被中断。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 衬底 方法 | ||
【主权项】：
1.一种脆性衬底的分断方法，其包含如下步骤：a)准备脆性衬底，所述脆性衬底具备设置有缘的一面、及与所述一面垂直的厚度方向；进而包含如下步骤：b)准备刀头，所述刀头具有第1面、第2面及第3面，所述第2面与所述第1面相邻，所述第3面通过与所述第2面相邻而形成棱线，且通过与所述第1面及所述第2面分别相邻而形成顶点；进而包含如下步骤：c)使所述刀头在所述脆性衬底的所述一面上沿着从所述棱线向所述第1面的方向滑动，由此通过塑性变形，在所述脆性衬底的所述一面上形成具有槽形形状的槽线；所述槽线是以获得无裂痕状态的方式形成，所述无裂痕状态是指在所述槽线的下方所述脆性衬底在与所述槽线交叉的方向上连续相连的状态；进而包含如下步骤：d)通过所述步骤c)而滑动的所述刀头的所述棱线将所述脆性衬底的所述一面的所述缘切下，由此使所述厚度方向上的所述脆性衬底的裂痕从所述缘沿着所述槽线伸展，以此形成裂痕线；由于所述裂痕线，在所述槽线的下方所述脆性衬底在与所述槽线交叉的方向上的连续相连被中断；进而包含如下步骤：e)沿着所述裂痕线将所述脆性衬底分断。
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