[发明专利]脆性衬底的分断方法

权利要求书

1.一种脆性衬底的分断方法，其包含如下步骤：

a)准备脆性衬底，所述脆性衬底具备一面、及与所述一面垂直的厚度方向；在所述一面上设置有辅助线，所述辅助线具备辅助槽线及辅助裂痕线，所述辅助槽线具有槽形形状，所述辅助裂痕线是由所述厚度方向上的所述脆性衬底的裂痕沿着所述辅助槽线延伸而构成；进而包含如下步骤：

b)准备刀头，所述刀头具有第1面、第2面及第3面，所述第2面与所述第1面相邻，所述第3面通过与所述第2面相邻而形成棱线，且通过与所述第1面及所述第2面分别相邻而形成顶点；进而包含如下步骤：

c)使所述刀头在所述脆性衬底的所述一面上沿着从所述棱线朝所述第1面的方向滑动，由此通过塑性变形，在所述脆性衬底的所述一面上形成具有槽形形状的槽线；所述槽线是以获得无裂痕状态的方式形成，所述无裂痕状态是指在所述槽线的下方所述脆性衬底在与所述槽线交叉的方向上连续相连的状态；进而包含如下步骤：

d)通过所述步骤c)而滑动的所述刀头的所述棱线与设置于所述脆性衬底的所述一面上的所述辅助线交叉，由此使所述厚度方向上的所述脆性衬底的裂痕从所述辅助线沿着所述槽线伸展，以此形成裂痕线；由于所述裂痕线，在所述槽线的下方所述脆性衬底在与所述槽线交叉的方向上的连续相连被中断；进而包含如下步骤：

e)沿着所述裂痕线将所述脆性衬底分断：

所述步骤a)包含如下步骤：

a1)准备所述刀头及辅助刀头的任一种刀头；所述辅助刀头具有第1面、第2面及第3面，所述第2面与所述第1面相邻，所述第3面通过与所述第2面相邻而形成棱线，且通过与所述第1面及所述第2面分别相邻而形成顶点；进而包含如下步骤：

a2)使所述刀头及所述辅助刀头的任一种刀头在所述脆性衬底的所述一面上沿着从所述棱线朝所述第1面的方向滑动，由此通过塑性变形，在所述脆性衬底的所述一面上形成所述辅助槽线；所述辅助槽线是以获得无裂痕状态的方式形成，所述无裂痕状态是指在所述辅助槽线的下方所述脆性衬底在与所述辅助槽线交叉的方向上连续相连的状态；进而包含如下步骤：

a3)使所述厚度方向上的所述脆性衬底的裂痕沿着所述辅助槽线伸展，以此形成所述辅助裂痕线；由于所述辅助裂痕线，在所述辅助槽线的下方所述脆性衬底在与所述槽线交叉的方向上的连续相连被中断；且

所述步骤c)中对所述刀头施加的负载大于所述步骤a2)中对所述刀头及所述辅助刀头的任一种刀头施加的负载。

2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中在所述步骤a2)中，使具有与所述刀头的形状不同的形状的所述辅助刀头滑动。

3.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中在所述步骤c)中所述刀头的所述第1面与所述脆性衬底的所述一面形成的角度小于在所述步骤a2)中所述刀头及所述辅助刀头的任一种刀头的所述第1面与所述脆性衬底的所述一面形成的角度。

4.根据权利要求3所述的脆性衬底的分断方法，其中在所述步骤a2)中，使所述刀头及具有与所述刀头的形状相同的形状的所述辅助刀头的任一种刀头滑动。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的脆性衬底的分断方法，其中所述步骤c)包含如下步骤，即，对所述脆性衬底的所述一面上的供所述刀头滑动的位置，供给润滑剂。